Pompes volumétriques à soufflets pour le semi-conducteur

L’adoption du soufflet épais permet à la pompe de décharger le liquide sous pression à une hauteur maximale de 0.45 Mpa. Les soufflets ont une durée de vie 3 à 4 fois plus longue qu’un diaphragme. Ainsi, le temps d’arrêt peut être sensiblement réduit.

En plus de son utilisation pour produits chimiques, la série de pompe à soufflet FW, spécialisée pour les hautes pressions et les températures moyennes (10 à 100° C), est utilisable dans les systèmes de nettoyage et de circulation de la boue de CMP liquide, et la série de pompe à soufflet FW-H pour les hautes pressions et les hautes températures (10 à 180°C) est utilisable comme pompe de circulation dans un système de nettoyage.

Les parties d’ajustage pour l’aspiration et l’évacuation sont intégralement formées d’une structure tubulaire de PFA. Ceci empêche les particules de s’accumuler et permet d’utiliser les joints disponibles sur le marché.

Une fois reliée à un contrôleur spécial, l’évacuation de la pompe à soufflet peut être commandée et surveillée facilement.

Spécifications techniques