Balg-Dosierpumpen für die Halbleiterindustrie.

Kontaminationsfreie Konstruktion

Alle medienberührten Teile sind aus Fluorokunststoff gefertigt, mit hervorragender Beständigkeit gegen Hitze und aggressive Chemikalien. Scharfe korrosive Flüssigkeiten werden sicher gefördert bei verringerter Partikelemission.

Antriebs-Sensor-System

Das Antriebs-Sensor-System öffnet/schließt das Magnet mittels Endlagensensor. Zuverlässiger Betrieb sowie stabiles Verhalten selbst bei geringer Hubanzahl sind gegeben.

Die Adoption von dicken Balgen ermöglicht Drücke bis 4,5 bar. Außerdem halten die Balgen 3 oder 4 mal länger als ein Membran. Pumpen der FW Serie werden in Reinigungs-, CPM- sowie chemischen Umwälzprozessen eingesetzt.

Die Anschlüsse für Saug- und Druckseite sind aus PFA gefertigt. Durch die integrierte Konstruktion wird die Ansammlung von Partikeln vermieden. Falls ein spezieller Controller angeschlossen wird, ist die Überwachung und Kontrolle der Fördermenge sehr einfach.

Spezifikationen