#  Série FA

  ![Série FA](https://iwaki.ch/images/Photos/produits/pompes-volumetriques/Serie-FA.webp) ## Pompes volumétriques à soufflet pour l'industrie des semi-conducteurs

Deux modèles de pompes à soufflet sont disponibles pour les produits circulant en moyenne température, modèles standards :

- Le type FA-2 (double soufflet horizontal) et le type FA-40 (pompe à soufflet double vertical).
- Le type FA-2 est défini pour une utilisation dans la pulvérisation des wafers simples.
- Le type FA-40 est utilisé pour le nettoyage des wafers de grande taille.
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- Spécifications techniques| Débit max. | 40 l/min. |
    |---|---|
    | Matière du corps | PTFE, PFA |
    | Température | 5 - 100° C |
    | Pression max. | 0.4 MPa |
    | Vitesse max. | 150 cps/min. |
    | Utilisation | Semi conducteurs |